在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氣體的純凈度對(duì)生產(chǎn)質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。納微米氣體過(guò)濾器作為保障氣體純凈的關(guān)鍵設(shè)備，是半導(dǎo)體生產(chǎn)中不可或缺的一部分。隨著半導(dǎo)體技術(shù)向更先進(jìn)的制程發(fā)展，對(duì)氣體純凈度的要求越來(lái)越高，傳統(tǒng)的過(guò)濾器已經(jīng)難以滿足高純氣體的微粒清除需求。恒歌作為專業(yè)的納米微米氣體過(guò)濾器生產(chǎn)廠家，憑借深厚的技術(shù)積累和豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，成功攻克了這一難題，為客戶提供了一套定制化的解決方案。
一、客戶面臨的挑戰(zhàn)
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，超純氣體的使用極為關(guān)鍵，其純凈度直接影響到芯片的質(zhì)量和性能。客戶在生產(chǎn)中使用的是超高純氣體(UHP)，這種氣體對(duì)微粒的敏感度極高，即使是極少量的亞微米級(jí)(0.1 – 1μm)微粒也可能導(dǎo)致光刻圖案失真、刻蝕不均勻等生產(chǎn)問(wèn)題。傳統(tǒng)的過(guò)濾器在清除微粒方面存在諸多不足，如過(guò)濾效率僅能達(dá)到 99.9%，難以滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純氣體的凈化要求;壓力損耗普遍>0.5MPa，導(dǎo)致氣體傳輸效率降低;同時(shí)，復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)增加了維護(hù)難度與二次污染風(fēng)險(xiǎn)。此外，半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境涉及等離子體刻蝕、化學(xué)氣相沉積(CVD)等高溫高壓工藝，對(duì)設(shè)備的耐高溫(需持續(xù)耐受 200 – 450℃)、耐高壓(工作壓力 5 – 15MPa)、耐腐蝕(抵抗含氟、氯等腐蝕性氣體)等性能也有嚴(yán)格要求，傳統(tǒng)過(guò)濾器往往難以適應(yīng)這種苛刻的工況。客戶急需一款能夠精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度的過(guò)濾器，以確保生產(chǎn)的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的提升。
二、恒歌的定制化解決方案
恒歌針對(duì)客戶的特殊需求，為其定制了F型直通式氣體過(guò)濾器 (TF 系列工藝氣體專用過(guò)濾器)。這款過(guò)濾器專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，具有以下顯著特點(diǎn)：
1. 卓越的微粒過(guò)濾性能
TF 系列過(guò)濾器采用先進(jìn)的 316L 不銹鋼粉末燒結(jié)濾芯技術(shù)，能夠精準(zhǔn)攔截超純氣流中的微粒，顆粒攔截效率高達(dá) 99.9999999%(9LRV)@30slpm，確保氣體的超高純凈度。其高通量、低阻力的設(shè)計(jì)，大幅降低了壓力損耗，氦氣驗(yàn)證泄漏率僅為 2×10?1? cc/min，氦氣測(cè)試泄漏率僅為 1×10?1? cc/min，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)氣體流量和壓力的嚴(yán)格要求。
2. 堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
過(guò)濾器整體采用頂級(jí) 316L 不銹鋼全材打造，結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，工作壓力可達(dá) 207 bar(3000 psig)，工作溫度范圍為 -28℃ – 482℃，具有超強(qiáng)的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中的各種苛刻工況。這種材質(zhì)不僅能夠有效抵抗含氟、氯等腐蝕性氣體的侵蝕，還能確保設(shè)備在長(zhǎng)期使用過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。
3. 簡(jiǎn)便的安裝與維護(hù)
TF 系列過(guò)濾器采用 F 型直通式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，僅需進(jìn)行氣路對(duì)接與螺母緊固，無(wú)需焊接，避免了焊接過(guò)程中可能產(chǎn)生的污染和風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無(wú)憂。此外，過(guò)濾器的維護(hù)也非常方便，更換濾芯簡(jiǎn)單快捷，無(wú)需拆卸整個(gè)設(shè)備，大大減少了維護(hù)時(shí)間和成本。
4. 嚴(yán)格的質(zhì)量控制
恒歌建立了嚴(yán)格的生產(chǎn)質(zhì)量控制體系，對(duì) TF 系列過(guò)濾器的生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行全流程質(zhì)量管控。每一件產(chǎn)品均經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試和 100% 氨氣檢漏測(cè)試，確保產(chǎn)品的性能和質(zhì)量達(dá)到最高標(biāo)準(zhǔn)。這種嚴(yán)格的質(zhì)量控制措施，為客戶提供了可靠的保障，使客戶能夠放心使用。
三、成功交付與客戶反饋
在恒歌的定制化解決方案下，F型直通式氣體過(guò)濾器 (TF 系列工藝氣體專用過(guò)濾器)經(jīng)過(guò)多次嚴(yán)格的測(cè)試和驗(yàn)證，完全滿足了客戶對(duì)超純氣體微粒清除的要求。在某半導(dǎo)體生產(chǎn)線的實(shí)際使用過(guò)程中，過(guò)濾器持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行 6 個(gè)月無(wú)性能衰減，晶圓表面缺陷率降低 82%，生產(chǎn)效率提升 35%，產(chǎn)品良品率從 89% 提升至 96%。客戶對(duì)恒歌的產(chǎn)品和服務(wù)給予了高度評(píng)價(jià)，認(rèn)為恒歌的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和定制化解決方案為他們解決了長(zhǎng)期困擾的難題，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的順利進(jìn)行提供了有力支持。
恒歌憑借其在納微米氣體過(guò)濾器領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)和豐富經(jīng)驗(yàn)，成功為半導(dǎo)體客戶定制了一款能夠精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流微粒的 F型直通式過(guò)濾器 (TF 系列工藝氣體專用過(guò)濾器)。這款過(guò)濾器以其卓越的微粒過(guò)濾性能、堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、簡(jiǎn)便的安裝與維護(hù)以及嚴(yán)格的質(zhì)量控制，贏得了客戶的信賴和認(rèn)可。恒歌將繼續(xù)致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的氣體過(guò)濾解決方案，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。如果您也面臨著類似的氣體微粒污染難題，歡迎與恒歌聯(lián)系，我們將為您提供專業(yè)的定制化解決方案。
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發(fā)布時(shí)間 25-04-19